12月15日,上海電子化學品專區工作推進會暨簽約揭牌儀式在滬舉行,上海市副市長張為出席并見證簽約儀式,副秘書長陳鳴波主持會議。上海集成電路材料研究院參加“電子化學品項目”簽約和“電子化學品創新聯合體”簽約儀式。
圖1 電子化學品項目簽約儀式
圖2 電子化學品創新聯合體簽約儀式
為進一步開展電子化學品研發與產業化工作,上海集成電路材料研究院建設成立集成電路材料合成實驗室,簽約落戶上海電子化學品專區,并加入電子化學品創新聯合體。
集成電路材料合成實驗室將著力攻克電子化學品產業技術難題,一期將啟動光刻材料、清洗材料等五個研發項目。集材院將依托合成實驗室,與電子化學品專區企業高效協同,發揮集聚效應,形成電子化學品領域人才隊伍、技術創新、產業化聚集地。